半導體行業(yè)用超純水設備工作原理

　　1、水進入純化系統(tǒng)，主要部分流入樹脂/膜內(nèi)部，而另一部分沿模板外側流動，以洗去透出膜外的離子。

　　2、樹脂截留水中的溶存離子。

　　3、被截留的離子在電極作用下，陰離子向正極方向運動，陽離子向負極方向運動。

　　4、陽離子透過陽離子膜，排出樹脂/膜之外。

　　5、陰離子透過陰離子膜，排出樹脂/膜之外。

　　6、濃縮了的離子從廢水流路中排出。

　　7、去離子水從樹脂/膜內(nèi)流出。

半導體行業(yè)用超純水設備制備工藝

　　1、預處理-反滲透-水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對象

　　2、預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節(jié))-中間水箱-第二級反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象

　　3、預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象

　　4、預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制拋光混床-TOC分解器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象。

　　超純水設備的使用范圍非常廣泛，可以應用在化工、電子、醫(yī)藥、實驗室、電鍍等各種行業(yè)中。